Quando la lunghezza in una direzione è inferiore alla lunghezza nelle altre due direzioni, questa struttura è chiamata film sottile. Al giorno d'oggi, l'applicazione continua di pellicole microelettroniche, pellicole ottiche, pellicole antiossidanti, pellicole magnetoresistive giganti, pellicole superconduttrici ad alta-temperatura, ecc. nella produzione industriale e nella vita umana, lo spessore delle pellicole prodotte nell'industria è un parametro molto importante, direttamente correlato al fatto che il materiale della pellicola possa funzionare normalmente.
Normalmente, lo spessore della pellicola si riferisce alla distanza tra la superficie del substrato e la superficie della pellicola. Infatti la superficie del film è irregolare e discontinua e sulla superficie sono presenti fori di spillo, microfessurazioni, filamenti di fibre, impurità, difetti del reticolo e molecole adsorbite. Ad esempio, vari film sottili nel processo di produzione di circuiti integrati su larga-scala avranno un impatto diretto sulle prestazioni dei circuiti integrati a causa del continuo miglioramento del grado di integrazione del circuito e di eventuali piccoli cambiamenti nello spessore del film sottile. Inoltre, le proprietà meccaniche, le proprietà di trasmissione della luce, le proprietà magnetiche, la conduttività termica, la struttura superficiale, ecc. dei materiali a film sottile sono strettamente correlate allo spessore. Pertanto, la misurazione online accurata dello spessore del film nel processo di produzione è un mezzo importante per garantire la qualità del prodotto e migliorare l’efficienza della produzione.
Per una misurazione accurata dello spessore del film, dipende dal tipo di sensore di spessore utilizzato. Attualmente esistono principalmente diversi metodi per la tecnologia di rilevamento dello spessore del film online:
1. La sonda Beta è il primo sensore utilizzato per il rilevamento di film sottile. Utilizza la sorgente di radiazioni beta come sorgente del segnale e la tecnologia è matura. Tuttavia è necessaria una licenza per l’uso delle sorgenti radioattive e le procedure di importazione ed esportazione sono relativamente complicate. Esiste un limite di dimezzamento-della vita utile e la precisione del rilevamento diminuirà con l'attenuazione della sorgente radioattiva.
2. Le sonde a infrarossi utilizzano il principio secondo cui specifiche bande infrarosse vengono fortemente assorbite in specifiche pellicole di plastica per misurare lo spessore della pellicola. Il sensore è stabile nel rilevamento e non è influenzato dai cambiamenti ambientali, ma è sensibile ai cambiamenti negli additivi e nei colori e non è adatto a realizzare più prodotti sulla stessa linea di produzione.
3. La sonda a raggi X-utilizza il tubo a raggi X-per generare raggi X-come sorgente di segnale per rilevare lo spessore della pellicola di plastica. I vantaggi sono molteplici: materiali radioattivi volanti; a basso consumo energetico non necessita di patente; un ampio intervallo di misurazione; elevata precisione di misurazione; tutti i tipi di plastica possono essere misurati senza essere influenzati da additivi e masterbatch colorati.
Allo stato attuale, lo strumento di misurazione dello spessore del film ha raggiunto un'elevata precisione e automazione e ha raggiunto un livello molto elevato. La sua precisione di misurazione è compresa tra ±2% e ±5% dello spessore del film misurato per lo strato di film generale e ±2nm per il film sottile e dispone di funzione di misurazione della microarea, velocità di misurazione rapida ed elevato grado di automazione. Soprattutto con il progresso della tecnologia e l'applicazione di strumenti di precisione, oltre ai metodi tecnologici di rilevamento di cui sopra, lo spessore della pellicola può essere misurato anche mediante un sensore a ultrasuoni. Il sensore a ultrasuoni MaxBotix consigliato da Gongcai-MB7480 è un misuratore di distanza di precisione a ultrasuoni ad alte prestazioni in grado di fornire misurazioni della distanza a ultrasuoni ad alta precisione e ad alta risoluzione nell'aria.
